优普莱大面积阵列式微波等离子体装置

功率／尺寸可模块式配置
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适合的应用：
化学气相法沉积大面积碳纳米薄膜，包括石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石薄膜等
等离子体清洗、微波烧结、金属表面强化和高聚物表面改性等
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产品特点：
产品采用模块化阵列式设计，适合大面积大功率沉积，功率／尺寸可定制，单元模块功率2kw；
在等离子体反应室内可产生稳定均匀的大面积高密度微波等离子体，以沉积大面积薄膜材料；
样品台距离线性等离子体的位置可调。样品台温度可以通过微波等离子体加热，也可通过电加热方式进一步升温，电加热温度可由用户自行设定。样品台温度可通过热电偶及红外测温方式获得；
样品台上可以加0～500V/0～1A可调直流偏压，直流偏压电场可均匀分布在样品台上；
等离子体反应室可输入2～4路反应气体，气体流量由MFC控制；
配备冷却水循环系统，无水源要求，确保装置高功率下长时间安全稳定运行。